MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有達(dá) 16 mJ 的脈沖能量和1,000 Hz 的重復(fù)頻率。

德國(guó)mlase脈沖激光器MLI-500Arf-LC

mlase工業(yè)用緊湊型激光器

MLase激光器覆蓋波長(zhǎng)(193納米、248納米、308納米)，能量范圍每脈沖200毫焦耳或脈沖重復(fù)率達(dá)1000赫茲

MLase的激光器服務(wù)于的工業(yè)過(guò)程。通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)方法，

波長(zhǎng):193納米、248納米(可根據(jù)要求提供其他波長(zhǎng):157納米、308納米、351納米)

水冷選項(xiàng)

重復(fù)率可達(dá)1 kHz

MLase這些激光器的工業(yè)應(yīng)用包括:

光纖布拉格光柵的寫(xiě)入(FBG)

光學(xué)檢測(cè)和計(jì)量，如測(cè)試微光學(xué)器件

激光結(jié)構(gòu)化和劃線

陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工

激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD，ICP-MS)

在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導(dǎo)體制造中

產(chǎn)品型號(hào)：

MLI-500 KrF LC

MLI-500-KrF FBG

MLI-ARF 1000LC

MLI 500 KrF FBG LC

MLI-ARF 1000

MLI 500 KRF

MLI 500 ArF LC

MLI-ArF-200

MLI- 500 ArF

德國(guó)mlase脈沖激光器MLI-500Arf-LC